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箱式真空镀膜机性能稳定、质量可靠、精密度高、自动化程度高。结构设计上接近德国莱宝镀膜设备,设备性能上领先于国内同行镀膜设备。
【用途】
专门为精密光学薄膜器件镀膜生产而设计,各系统单元和总体结构很好地满足了光学薄膜生产工艺的要求,适用于增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系的镀制。
【基本参数】
(1)极限真空:3×10-4Pa
(2)恢复真空时间:大气至4×10-3Pa≤15min
(3)采用KT-630型扩散泵(18000L/s)两台(带移相温度控制),HGL-150型滑阀泵一台+ZJP-600罗茨泵一台,维持泵2X-30型机械泵(30L/s)一台;配备防湍流装置
(4)真空程序有自动和手动两种模式。日本欧姆龙型PLC控制所有泵阀动作;高阀、低阀、预阀,到位信号送入PLC控制信号;PLC程序带故障报警功能,如气压、水流、机械泵等保护及报警;12英寸触摸屏在线监控PLC各种输入及输出信号。
(5)工件转动:采用磁流体密封转动装置,其它地方采用传统的橡胶圈密封
(6)工件烘烤:桶状上烘烤,三点控温,加热器采用管状加热器,配温控仪
(7)E型电子枪两支,枪功率10KW/支;束偏转角270°;阳极电压为8KV、10KV;束流:0-1000mA可调;具有X、Y方向扫描,扫描波形有三角波、正弦波、矩形波可选择,电子枪主体有屏蔽罩,电子枪输出功率稳定。
(8)配备美国MAXTEK公司的MDC360C型石英晶体膜厚仪。
(9)Φ16CM的离子源